企业信息
第7年
- 入驻时间： 2018-09-17
- 联系人：骆婷
- 电话：0799-6669801
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- Email：hl@tamasaki.com
产品详情
简单介绍：
MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。
详情介绍：
- 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化
- 大流量汽化（增加稳定性数据）
- 可汽化易热解的液体源
| 型 | MV-2000 系列 |
|---|---|
| 液体材料 | 除对不锈钢有腐蚀性的液体（例如 HCl、HF）外的所有液体 |
| 设定温度 | 按汽化条件（控制阀 ： *高 140 °C 汽化器 ： *高 200 °C） |
| 泄漏完整性 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He） |
| 内部泄漏标准 | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He） |
| 接液部件 | SUS316L、PFA |
| 温度传感器 | K 型热电偶 （CA） |
| 耐压性 | 1MPa（克） |
| 标准接头 | 液体入口：1/8 VCR 型 外螺纹 载气入口：1/4 VCR 型 内螺纹 气体出口：1/2 VCR 型 外螺纹 |
| 工作温度 | 15 - 50 °C |
| 选择 | 空气阀（内漏标准：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He）） |
- 产生的流量可能因液体材料、生成量、生成条件等而异。我们会在咨询时推荐*适合您需求的型号。
- 蒸发器内部有一个加热器、温度传感器和开关。请联系我们以获取有关其规格的更多详细信息。
外部尺寸
