企业信息
第7年
- 入驻时间： 2018-09-17
- 联系人：骆婷
- 电话：0799-6669801
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联系时，请说明易展网看到的
- Email：hl@tamasaki.com
产品详情
简单介绍：
液体和固体的气体输送方法之一就是鼓泡法。鼓泡法广泛应用于化学气相沉积制程。通过应用 NDIR 技术和 HORIBA 开发已久的阀门技术，VCC-100 可以在鼓泡器下游保持恒定的浓度，以满足先进制程控制时代的行业要求。
详情介绍：
易安装
- 只需将现有压力控制器更换为 VCC-100
占地空间小
- 除压力控制器外，长度仅 50 mm
易用
- 只需设定目标浓度
- 无需连接到其他组件（例如，质量流量控制器）
2 种控制模式
- 浓度控制：VCC-100 可用作浓度控制器
- 压力控制：VCC-100 可用作提供浓度输出的压力控制器
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型 VCC-110 系列 VCC-120 系列 单元格长度 5 毫米 50 毫米 目标化学品 TMGa、DEZn、IPA TMIn、TMIn、TEGa、TMGa、TMAI、DEZn、IPA 目标流速 0.3 - 10 SLM 工作压力 30 - 300 千帕斯卡 电池温度 60 摄氏度 拟 合 1/4 VCR 公头 通信 模拟 / 数字， DeviceNet 功率要求 +/-15 V DC（模拟/数字）
24 V 直流 （DeviceNet）
加热器功率 200 - 240 伏交流电 尺寸 155 x 59 x 140 毫米
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