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极其紧凑的尺寸和轻量化
的 1/20th与传统的残余气体分析仪相比，尺寸小，易于集成到任何系统中 -
由 9 个四极杆组成的高性能
微型阵列提供出色的灵敏度，而体积仅为传统四极杆的一小部分 -
高压作
可在高达 0.9Pa （7mTorr， 9 x 10-3mbar），从而减少或消除许多应用中昂贵的真空抽气 -
校准
中的可互换传感器头 传感器头在发货前经过预调谐和校准，允许用户在现场更换传感器，而无需微调或技术专业知识 -
网络传感器
使用 RS-485 的一台 PC *多可以监控 8 个传感器。还可以通过外部 I/O 进行无 PC 的扫描作。 -
用户友好的软件
Micropole Scanner™ 2 软件允许用户以各种模式监测气体的分压，例如趋势图、光谱图、条形图。
测量原理
四极杆质量分析仪由离子源、质量离子检测器组成。残余气体与高温细丝释放的热电子碰撞时被电离，由此产生的离子加速并汇聚到质量过滤器上。在质量过滤器上，将不同的直流电和 RF 施加到电极（四极杆）上，从而允许离子按质量分离。分离的离子被法拉第杯检测为电流。离子电流与残余气体的分压成正比。
微极TM分析器
使四极杆质量分析仪****的功能是 MICROPOLETM分析器 （MPA）;由九个四极杆组成的组合，充分利用了超精密光学蚀刻加工技术和玻璃/金属接合技术。MPA 的开发催生了四极杆质量分析仪，这是世界上*小的残余气体分析仪，同时提供与传统的大型质谱仪相同或更好的灵敏度。分析器是一个插件单元。它采用的传感器单元已针对分压进行了校准，并提供**总压和分压测量。
应用
腔室状态监测
Microople System QL 系列由于其紧凑性而长期用于测量残留气体。在金属溅射工艺中，必须降低氧基气体的分压，以避免溅射金属氧化。一旦腔室暴露在空气中进行维护，需要时间来减少残留气体，四极杆质量分析仪适用于检查腔室状况。
等离子体过程监测
四极杆质量分析仪具有一种用于等离子体过程的原位过程监测技术，包括蚀刻、溅射和干洗。在通过反应溅射沉积透明导电氧化物薄膜的过程中，氧基气体的控制对于透明度和导电性都至关重要。近年来，半导体工艺的复杂性需要额外的工艺监控工具，以缩短设备启动时间并检测工艺异常。
外形尺寸 （mm）
规格
微极系统
频谱发生器
| 型 | QL-SG02-065-1A | QL-SG02-100-1A | QL-SG02-300-1A |
| 质量范围 | 米/Z 2-65 | 米/z 2-100 | 米/Z 4-300 |
| 质量过滤器类型 | 卡德鲁波尔 | ||
| 探测器 | 法拉第杯 | ||
| 测量扫描速度 | 50 - 6400 毫秒/分钟/z | ||
| 电离电压 | 43eV 或 70eV 可选 | ||
| 工作温度 | 15 - 45°C | ||
| 工作湿度 | 80%RH 或更低（不冷凝） | ||
| 储存温度 | 0 - 80°C | ||
| 重量（带 SMPA 型传感器专用夹具） | 575 克 | ||
| 设计 | 宽 150 x 高 62 x 深 747 （毫米） | ||
| RS485 通信波特率 | 115.2K / 38.4K / 9.6Kbps | ||
| 模拟 I/O 接口 | 输入：0-10V 2ch，输出：0-10V 4ch | ||
| 接触式 I/O | 刀具状态 3 通道、控制信号输入 3 通道、设定点输出 5 通道 | ||
| 电源输入 | 直流 24V +/-5%，100mVpp，50W | ||
| 连接器类型 | 圆形连接器：PRC03-23A10-4M | ||
* 以下传感器规格基于 400ms m/z 单位的扫描速度。
* 包括基于 Windows 10 及更高版本的配置和数据采集软件。
传感器
| 型 |
MPA8-7-2/65C |
MPA8-5-2/100C |
继电器 SMPA8-1-2/100CR |
MPA8-1-4/300C |
| 测量上限压力 （N2）*1 |
0.5帕 |
0.2帕 |
0.1帕 |
0.2帕 |
| *大使用压力 （N2）*2 |
0.9帕 |
0.6帕 |
0.1帕 |
0.4帕 |
| *小可检测分压 （N2） |
5.0×10 元-6帕 （70eV） |
|||
| 分辨率 （FWHM： N2） |
1.2±0.3 m/z 单位 |
1.0±0.3 m/z 单位 |
1.5±0.3 m/z 单位 |
1.8±0.3 m/z 单位 |
| *高烘烤温度 （ SG 已删除 ） |
350°C |
|||
| *高工作温度 （ SG 安装 ） |
150°C |
|||
| 安装法兰 |
ISO-KF16 （NW 16）、CF34 （ICF 34） |
|||
| 重量 |
MPA：CF34 法兰 50g
|
SMPA：ISO-KF16 法兰 50g |
MPA：CF34 法兰 50g |
|
| 灯丝 |
Y2O3/IR 2个 |
3%Re/W 2个 |
Y2O3/IR 2个 |
|
| RoHS 指令 |
合规 |
|||
* SMPA 型传感器由真空接头上的网状保护，旨在延长传感器在等离子体工艺等恶劣环境中的使用寿命。
*1 Q 质量数信号输出饱和的压力。超过此压力时，信号输出可能与实际压力不对应。
*2 可作的上限压力。如果工作压力超过极限压力，测量可能会停止以保护传感器。
