企业信息
第7年
- 入驻时间： 2018-09-17
- 联系人：骆婷
- 电话：0799-6669801
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- Email：hl@tamasaki.com
产品详情
简单介绍：
EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。
详情介绍：
优点:
- 适用于高真空环境：不锈钢机身
- 抗腐蚀：PTFE 机身可选
- RoHS 标准
当排气流量被调整到适合水平：
- 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
- 防止烟雾的二次沉积
- 防止危险蒸气扩散
与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速。
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型号 EC- |
5104 |
5105 |
5202 |
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兼容尺寸 |
西北 40 |
西北 50 |
25 mm PTFE 接头 |
1 英寸 PTFE 接头 |
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气体接触区域的材料 |
SUS316L、氟橡胶 |
PTFE， PEEK， 氟橡胶 |
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电导 |
0.4 至 80 升/秒 |
0.6 至 200L/s |
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100 mm H2O |
20升/分钟 |
25升/分钟 |
3升/分钟 |
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外形尺寸
