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第7年
- 入驻时间： 2018-09-17
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产品详情
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OHKURA大仓卧式扩散炉
卧式扩散炉是进行半导体制造工艺中的一环，即热处理的系统。其结构是水平组装加热器室，并堆叠2-4层，有效利用了纵向空间，热处理的种类包括扩散、氧化等，处理温度也由低温至高温不等，使用本公司生产的高性能控制器，可应对各种工艺需求。
特点
■均热性提高
通过将与使用温度相应的加热器和本公司生产的高性能控制器结合使用，实现更加稳定的温度控制和均热长度。
■支持100-200mm晶圆
扩散炉系统直径为φ100mm-φ200mm，可以根据客户的要求提供合适的扩散炉。
■简单的维护性
即使其他加热器正在升温，也可**更换热电偶以及加热器。
■性价比
精选所用部件，采用实用结构，实现低价格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到*小，因此也能用于更新老旧且空间有限的系统。
OHKURA大仓卧式扩散炉
卧式扩散炉是进行半导体制造工艺中的一环，即热处理的系统。其结构是水平组装加热器室，并堆叠2-4层，有效利用了纵向空间，热处理的种类包括扩散、氧化等，处理温度也由低温至高温不等，使用本公司生产的高性能控制器，可应对各种工艺需求。
特点
■均热性提高
通过将与使用温度相应的加热器和本公司生产的高性能控制器结合使用，实现更加稳定的温度控制和均热长度。
■支持100-200mm晶圆
扩散炉系统直径为φ100mm-φ200mm，可以根据客户的要求提供合适的扩散炉。
■简单的维护性
即使其他加热器正在升温，也可**更换热电偶以及加热器。
■性价比
精选所用部件，采用实用结构，实现低价格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到*小，因此也能用于更新老旧且空间有限的系统。
OHKURA大仓卧式扩散炉
