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  • 产品名称:OHKURA大仓立式热处理炉 DF2600

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简单介绍:
详情介绍:
OHKURA大仓立式热处理炉 
本装置是半导体制造工序——热处理工序中所使用的立式热处理炉(扩散炉)系统。以合理的价格提供以往半导体工厂中使用的大容量型热处理炉,且可根据客户的个别要求,提供各种特殊规格,灵活应对。
特点
■性价比
通过导入时按顾客需求定制或缩短启动时间,实现产品的低价提供
■配件性能
装置外形支持现有的无尘室
主机尺寸:H2600×W900×D1280
■维护性能
主要组件及软件均为自主研发,因此在将来也可一直为顾客提供维护服务
■定制性能
可根据顾客需求进行各种定制
■产品性能
可替换卧式炉,节省空间
■能源性能
通过高效加热器的研发,与本公司以往产品相比可节能10%
还可通过选购项实现高速升降温及高温工艺
OHKURA大仓立式热处理炉 

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