产品名称：HORIBA堀场高响应非敏感质量流量器

• 工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 

  • 为流程优化提供灵活性

• 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制

  • 提供高生产力和更大的过程性能

• 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

  • 为需要小流量的工艺提供灵活性

• PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能

  • 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量

• 状态监控功能

  • 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

状态监控功能的输出项

流量/压力调零计数

阀门驱动计数

记录*大/*小P0,P1,P2压力

*大/*小块温度记录

总时间超过/低于压力规格

总时间超过/低于温度规格

总工作时间

总控制时间

总流动时间(每个校准实例)

总流量(每个校准实例)

*1 流量精度可低至2 SCCM，因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。

*1 Bin#14-15 的流量精度和重复性只保证 N2 校准气体。
*2 在 25℃ 和≤1.0 × 10-3 pa (A) 条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI 标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。