SF6气体微水仪采用了单片机技术，仪器实现了露点、PPmV、**湿度等单位间的自动转换，无需人工查表换算。该仪器的电路部分先进可靠，为了适用于野外作业需要，仪器采用了交直流两用，自带的电池可连续工作20个小时以上，拓宽了使用范围，极大地方便了用户。
SF6气体微水仪是上海来扬电气设计组经过多方讨论研究，决定采用阻容法原理，通过电容型高分子薄膜湿度传感器，具有准确度高、重复性好、漂移小等优点。
技术指标
微水范围：-60～+20℃、精度:±2℃
响应时间（+20℃）：-60～+20℃、 5s（63%） 45s（90%）
+20～-60℃、10s（63%） 240s（90%）
使用环境温度：-10-+50℃
使用环境湿度：5-90%RH
流量范围：0～1升/分钟
工作电源：交、直流两用，内置锂电池
六氟化硫断路器含水量测量要求
测 试 内 容
标 准（u1/1，20℃）
六氟化硫断路器出厂和大修中（整体装复以前） 应分别测量开断单元和支柱单元水份值。
≤150
交接时由支柱下部充气接口测量断路器水份值。
运行中由支柱下部充气接口测量断路器水分值。 测试周期按“预试规程”规定。
≤200
运行中，必要时（开断单元漏气、解体过开断单元）六氟化硫断路器应由联箱内自封接头处单独测量开断气室含水量。
≤300