其他品牌 TS-RM2500 光谱共焦位移传感器
共聚焦效应*关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。日系和国产光谱共焦传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。THINKFOCUS光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm宽的边沿台阶，必须使用光谱共焦传感器。
参考距离：5.75mm 测量范围：±0.75mm 光斑直径：Φ20μm 测量角度：±14° 静态噪声*2：80nm 线性误差：＜±0.3μm 横向分辨率：10μm 外径*长度：φ8*47.7 m