54 系列全金属 UHV 阀门

安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 合作生产的 54 系列全金属超高真空阀门。这些阀门专为超高真空系统设计，烘烤温度可高达 300 ºC，并且不使用弹性体及低熔融温度金属。阀门可使用标准的六角扳手进行手动操作，不必使用扭矩扳手。由于采用金属密封，这些阀门可以在维护之前，开关上千次。54 系列阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于 10 - 11 torr (mbar) 的真空密封。

特性

专为超高真空 (UHV) 设计的全金属阀门
压力范围从极高真空 (XHV) 到高达 2 bar
在打开和关闭位置可烘烤温度达 300 ℃
独特的 VATRING 密封能提供“金属”接触式密封，维护前可开关 1000 多次。
可以以任意角度安装
可视的位置指示

性能指标

漏率：阀体，阀座	< 1 x 10-10 mbar Is-1
压力范围	从极高真空 (XHV) 到 2 bar (abs)
插板处的压力差	≤ 2 bar
开启时压差	≤ 1 bar 1
寿命	≥ 1000 次
烘烤温度 2	≤ 300 °C（开启和关闭时）
加热和冷却速度	= 60 °C h-1
材料：阀体，机械装置，波纹管	AISI 316L (1.4404, 1.4435)
密封：阀盖，插板	金属
穿导件	波纹管
安装方向	任意
阀位指示	可视（机械）
流导（分子流）	NW 16：5 Ls-1/NW 40：50 Ls-1
闭合力	处于机械停止状态时关闭
重量：kg（磅）	NW 16： 0.4 (0.9) NW 40：1.9 (4.2)
1) 随着循环次数减少 >1 bar 2) *大值：取决于工作条件和密封材料

技术参数

09_Vacuum_Measurement.pdf

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54 系列全金属 UHV 阀门

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