首款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
现有的*高性能、*紧凑的仪器
头个将完全集成的方法用于*大程度提高系统效率和正常运行时间的装置
将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
通用电子器件接口和使用简单的控制软件模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口为标准配置
安捷伦 Profibus 接口（可选）
技术参数
07_Turbo_Pumps.pdf
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到*佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
针对质谱系统优化的全系列泵和控制器
具有多入口泵组的定制泵
低成本、易于使用、高分析性能
对于 GC/MS，提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口
对于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系统
对于 ICP-MS，提供多种真空系统，包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池
对于 TOF 系统，需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备
质谱
GC/MS
LC/MS
ICP-MS
TOF
非常清洁、可靠和高性价比的 HV 和 UHV
粗真空轴承未暴露于 UHV，降低了污染
高速和高压缩
可以以任意角度安装
联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体
高能物理
融合技术
一般 UHV 研究
同步光源粒子加速器
为薄膜沉积应用而专门设计的集成分子泵解决方案
适用于原始设备制造商和终端用户的专业性能
适用于具有预真空锁或大型内联连续系统的单室批量系统和多室系统的泵
薄膜沉积：
玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃，平板显示器）
薄膜太阳能电池生产（光电）
光学数据介质（CD、DVD、磁光光盘）
磁性存储介质
表面处理
光学涂层（眼科、精密光电）
膜或箔上的辊式/卷绕涂覆
设备加工：
生产电视机和显示器显像管
疏散灯（高速公路照明、投影机）
X 射线管和电子设备
一般工艺：
真空炉/冶金
分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质
全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统
低振动涡旋泵适用于*敏感的显微分析
可快速、无油式排空大型样品室内的气体
集成的泵控制器可灵活进行控制，几乎不生成电磁噪音
非常适合为半导体生产创造合适环境
高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体（He、H）
符合高速循环应用的严格要求，例如真空装载锁
通过对多个涡旋泵联用一个前级泵，可提高工具的可靠性
安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处
电子显微镜（SEM、TEM）
聚焦离子束系统 (FIB)
表面分析
半导体制造