VTR-151M SRF (SCOTT-C3) 昆山驷迈智能科技有限公司

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产品名称：VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
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简单介绍

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

产品描述

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

SCOTT系列／小型高频溅射装置

※图片为旧型

特　性是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜，所以*适合用于基础研究开发等实验。应　用1.平行板射频磁控管2.主泵为涡轮分子泵3.所有测量计均安装于机架4.溅射速度30nm/min（SiO2），使用磁控溅射。5.底层交换，处理方便，从顶盖开启进行维护。6.可选反应式溅射

规格型号

型　号		VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
真空性能	极限压力	6.6 × 10^-4Pa
真空性能	排气时间	6.6 × 10^-3Pa/5min
真空舱	真空舱	金属舱 (直径310.5mm × 160mm (H))
	阴极	直径2inch, 3 电极
	标准基板	直径2 英寸(直径.50.8mm) × t1mm
	溅射有效区域	直径25mm
	溅射速度	SiO2, 成膜速度大于 30nm/min
	膜厚分布	SiO2, 在±10% 直径25mm
	基板加热	*大 350 ℃
	电极距离	50mm – 90mm (可变:半固定)
排气系统	主泵	涡轮分子泵 (250L/sec)
	液氮冷阱	–
	前级泵	油旋片真空泵 200L/min
	油雾过滤器	油雾过滤器 OMT-200A
操作系统	主阀门	蝶阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	射频电源	*大 300W (变量: 0 - 300W)
	皮拉尼真空计	GP-1GRY
	电离真空计	ISG1/SH2-1
外形	尺寸	1081mm（W）× 853mm（D）× 1104mm（H）
外形	重量	400kg

条件

型　号	VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
电源需求	单相, 200V, 3.5kVA
接地端子	A级（接地抗阻/10Ω 或更低）
用水需求	2.0L/min（水温：低于25℃、水压：200kPa）
附件（电源）	乙烯绝缘软电缆（R3.5-5帯端子） 4m
附件（接地）	接地电缆（R5.5-8帯端子） 4m
附件（水）	Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm） 4m（2根）

外形图

真空室内部构造

标准构造

[1]密封法兰[2]电极分隔[3]阴极[4]进气[5]观察孔[6]开闭器手把[7]开闭器[8]通风阀[9]测量计

取样托

[标准构造]

[特殊构造]

※	根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件

向前头页

● 导入气体（2、3 根）	● 直流电源
● 质量流量控制器	● 4 英寸，1 电极
● 基板加热600℃（水冷）	● 油旋片真空泵用自动渗漏阀
● 直线过滤器（管道连接类型油雾过滤器）OMI-200

可选部件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。

真空泵

真空泵油（SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7）	油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器（OMT）	用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器（OMI）	用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口	用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器（OMC）	用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器（OFI）	用来防止油反向扩散／粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器（SGT）	既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器	用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管	真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管	用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计	表示**压力的模拟真空计

设备

DEPOX （VFR / VWR / VTR / VTS）真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
真空排气装置	排气装置的定制商品

真空連接用零件

卡箍／中心环/无孔法兰／喷嘴/接管／ T型接头／十字接头／变径接头／KF 法兰/测量计接口／渗漏阀/VCR 接口／弯管

真空泵与真空机器的管道零件

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