小型真空镀膜装置 VTS-350M ERH 昆山驷迈智能科技有限公司

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产品名称：小型真空镀膜装置 VTS-350M/ERH
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简单介绍

小型真空镀膜装置 VTS-350M/ERH

产品描述

小型真空镀膜装置 VTS-350M/ERH

DEPOX系列／小型真空镀膜装置

特　性在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，*适合用于基础研究开发等实验。应　用1.金属与有机材料镀膜装置。2.真空排气设备的多种组合。3.强化**性与可靠性。4.多层镀膜与同时镀膜（*大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。5.玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

型　号		VTS-350M/ERH
真空性能	极限压力	4.0 × 10^-4Pa 2.0 × 10^-4Pa (使用液氮时)^※1
真空性能	排气时间	4.0 × 10^-3Pa/15min 3.0 × 10^-3Pa/10min (使用液氮时)^※1
真空舱	钟罩尺寸	玻璃钟罩（直径300mm × 300mm(H))
	馈通圈	12个端口（8侧面、4底面）
	标准基板・*大尺寸 ^※2	□50mm ・ □140mm（*大）
供电系统	蒸发电极结构	1点式
供电系统	蒸发电源	SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (*大)
排气系统	主泵	涡轮分子泵（气冷） 345 L/sec
	液氮冷阱	可选
	前级泵	涡旋干式真空泵 250 L/min
	油雾过滤器	–
操作系统	主阀门	蝶阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	有
	控制	手动控制
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
控制系统	电离真空计	GI-M2
外形	尺寸（主体）	730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H)
	尺寸（蒸发电源）	480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
	重量（主体）	160kg
	重量（蒸发电源）	40kg

※1 : LN2冷阱为选件。
※2 : 不考虑基板*大尺寸时的膜厚分布值。

条件

型　号		VTS-350M/ERH
电源需求	主体	单相, 100V, 0.9kVA
电源需求	蒸发电源	单相, 200V, 1.5kVA
接地端子		D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	主体：单相、100V	乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
附件	蒸发电源：单相、200V	乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m

外形图

VTS-350M/ERH

蒸发电源　SEREM

馈通圈

向前头页

标准构造

※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。

真空泵

真空泵油（SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7）	油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器（OMT）	用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器（OMI）	用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口	用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器（OMC）	用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器（OFI）	用来防止油反向扩散／粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器（SGT）	既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器	用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管	真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管	用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计	表示**压力的模拟真空计

设备

DEPOX （VFR / VWR / VTR / VTS）真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
真空排气装置	排气装置的定制商品

真空連接用零件

卡箍／中心环/无孔法兰／喷嘴/接管／ T型接头／十字接头／变径接头／KF 法兰/测量计接口／渗漏阀/VCR 接口／弯管

真空泵与真空机器的管道零件

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