高速真空镀膜装置 VPC-1100 昆山驷迈智能科技有限公司

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产品名称：高速真空镀膜装置 VPC-1100
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简单介绍

高速真空镀膜装置 VPC-1100

产品描述

高速真空镀膜装置 VPC-1100

VPC系列／高速真空镀膜装置

特　性在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器，并且配备了钟罩升降装置，是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单，*适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。应　用・电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。・EL 有机层薄膜研发。

规格参数

型　号		VPC-1100
真空性能	极限压力	4.0 × 10^-4Pa 1.3 × 10^-4Pa (使用液氮时)
真空性能	排气时间	4.0 × 10^-3Pa/10min 10^-3Pa/10min (使用液氮时)
真空舱	钟罩尺寸	玻璃钟罩（直径390mm × 350mm(H))
	馈通圈	20个端口（14侧面、6底面）
	标准基板・*大尺寸^※1	□50mm ・ □220mm（*大）
供电系统	蒸发电极结构	3点式
供电系统	蒸发电源	SEREM　“PSE-150C”，0 – 10V ，150A (*大)
排气系统	主泵^※2	油扩散泵（水冷） 1100 L/sec
	液氮冷阱	有
	前级泵	油旋片真空泵 100 L/min　×2
	油雾过滤器	可选
操作系统	主阀门	瓣阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	皮拉尼真空计	GP-1G
控制系统	电离真空计	可选
外形	尺寸（主体）	1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H)
	尺寸（蒸发电源）	安装在设备的主体
	重量（主体）	313kg
	重量（蒸发电源）	安装在设备的主体

※1: 不考虑基板*大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵（TMP）。

条件

型　号		VPC-1100
电源需求	主体	三相, 200V, 5.0kVA
	主体	单相, 100V, 1.0kVA
接地端子		D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	主体：三相，200V	乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
	主体：单相，100V	乙烯绝缘软电缆（带插头） 4m
用水需求		1.5L/min（水温：低于20-25℃，水压：200kPa）
附件		Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
推荐软管^※		蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm）

※ 冷却水管由客户自己准备。

外形图

VPC-1100

蒸发电源　SEREM

馈通圈

向前头页

标准构造

[1]挡板[2]过滤器[3]备用（L）[4]备用 (S)[5]测压孔1[6]真空密封口3个[7]开闭器[8]电极COM[9]电极 1[10]电极 2[11]电极 3[12]支柱

※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。

真空泵

真空泵油（SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7）	油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器（OMT）	用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器（OMI）	用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口	用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器（OMC）	用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器（OFI）	用来防止油反向扩散／粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器（SGT）	既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器	用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管	真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管	用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计	表示**压力的模拟真空计

设备

DEPOX （VFR / VWR / VTR / VTS）真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
真空排气装置	排气装置的定制商品

真空連接用零件

卡箍／中心环/无孔法兰／喷嘴/接管／ T型接头／十字接头／变径接头／KF 法兰/测量计接口／渗漏阀/VCR 接口／弯管

真空泵与真空机器的管道零件

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