小型高真空排气装置 VTS-350M X 昆山驷迈智能科技有限公司

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产品名称：小型高真空排气装置 VTS-350M/X
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简单介绍

小型高真空排气装置 VTS-350M/X

产品描述

小型高真空排气装置 VTS-350M/X

DEPOX系列／小型高真空排气装置

特　性在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，*适合用于实验。应　用1.不会使主泵停止运转，可以对真空槽进行开放。2.使用三向切换阀等，因为构成零件少，所以便于维护与保养。3.可以把真空计等选购件安装到同一管架上。4.带脚轮，容易移动的排气装置。5.带调整装置，能够确保设置的**性。

规格参数

型　号	VTS-350M/X
极限压力	10^-4Pa 10^-5Pa (使用液氮时)
主泵	涡轮分子泵（气冷） 345 L/sec
前级泵	涡旋干式真空泵 250 L/min
主阀门	蝶阀 100A
副阀门	三向切换阀
进气口直径	JIS VG-100
重量	135kg
尺寸	730mm(W)×584mm(D)×804mm(H)

※电离真空计、皮拉尼真空计、液氨冷阱、吸气法兰、油雾过滤器是选购件。

条件

型　号	VTS-350M/X
电源需求	单相, 100V, 0.9kVA
接地端子	D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m

外形图

排气系统图

可选部件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。

真空泵

真空泵油（SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7）	油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器（OMT）	用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器（OMI）	用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口	用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器（OMC）	用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器（OFI）	用来防止油反向扩散／粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器（SGT）	既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器	用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管	真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管	用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计	表示**压力的模拟真空计

设备

DEPOX （VFR / VWR / VTR / VTS）真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机	蒸发装置的定制商品
真空排气装置	排气装置的定制商品

真空連接用零件

卡箍／中心环/无孔法兰／喷嘴/接管／ T型接头／十字接头／变径接头／KF 法兰/测量计接口／渗漏阀/VCR 接口／弯管

真空泵与真空机器的管道零件

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