为了实现始终如一的可靠性能 和零维护，您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。
我们的**套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出，现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中， 表现出了**的性能级别和可靠性。
对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用， STP Maglev 涡轮分子泵是优选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮，因此，消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外，消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触，也就无需对泵进行后续 维护。
产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术，以确保降低 能耗和提升运行效率，同时不损害 质量和性能。
提高了生产效率：更快抽空到基准压力
体积紧凑： 节省空间并且易于安装
低拥有 成本：低功耗和水电消耗
免维护： 经济
平板显示器我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在*大限度地提高基板吞吐量和*终零湿度制程条件，同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。
LED我们*新的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化”低功耗紧凑型解决方案。
光电我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化，可满足客户的特定应用要求，同时具有**的制程气体处理能力、始终如一的性能的*高可靠性。
半导体加工 完全磁悬浮转子经过专门设计，降低了舱室污染并延长了维修间隔，使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。
先进的 高吞吐量系列全新的“优势”系列 磁悬浮涡轮泵经过专门设计，可提供下一代 半导体蚀刻和 CVD 制程所需的*高吞吐量 级别。它们是以超可靠、高性能 H 系列产品 为基础，通过持续改进技术开发而成。 其先进的转子技术和 3D 叶片设计与一系列可供选择的 *佳材料相结合，因而能够在与现有的许多型号相同的 占用空间内创造出下一代高吞吐量涡轮泵。 该系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生产效率， 吞吐量高达 6 slm，并具有更高的 H2、N2 和 Ar 性能。
完全 集成的控制器和电源这是真正的一体化涡轮泵 解决方案，具有出色的特性并可实现节省。 完全集成的控制器不再需要非集成控制器 通常所需的连接电缆和机架，有助于减小 占地面积，节省宝贵的工厂用地以及安装时间和 成本。此外，板载控制器包含一个小型电源， 与现有产品相比，它可在高气体流量下实现 大约 32% 的能耗降低。此系列产品的生产效率 为 300 l/s 到 4500 l/s，这意味着它是许多制程和应用的 理想选择。
超 高真空 超高真空系列 磁悬浮涡轮分子泵是供许多半导体、表面科学 或高能物理领域使用的优选泵。这种泵 具有****的可靠性、性能、清洁程度以及**的 低振动级别。这些泵全部是直流供电，无需使用 电池，采用一个具有自动调节和先进诊断功能的 半机架控制器。该系列中泵的速度范围为 300 l/s 到 1000 l/s，极限压力小于 10-10 mbar（CF 法兰），另外 还有一个用于严苛制程的“C”型。
超 高真空低振动系列超高真空低振动 型包含超高真空涡轮分子泵的所有特性， 另外还有一个内置隔振器，可提供超低振动 性能。
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
**性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程