iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上*受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 **的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套**的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
*基 于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
目标应用包括：
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
低功耗和零预防性维护，可降低拥有成本
小巧轻便，可使用灵活的 安装选项
高性能电机和变频器驱动装置
待机模式使用环保模式，功耗 更低
高导热性材料和 优良设计可实现低水流量和高效冷却 - 那又怎么样？
精密陶瓷轴承 可确保高负载容量，因而更加可靠
低振动和小于 55 dB(A) 的低噪声，可以安装在操作中同附近
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀