旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合,这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10-7 Pa m3/s,从而使腐蚀性应用时的运行**性*大化。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。
CVD 涂层
涂层(磨损保护)
半导体技术
研究和开发
空间节省且理想适用于系统集成
小尺寸时抽吸能力高
低*终压力
运行**,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
由于化学惰性,工作液使用时间长
通过密封设计,**性超高
**,洁净,低维护
集成型**阀和气镇阀
特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
不含有色金属
具有*高 36 m3/h 抽吸能力的双级高效旋片泵
带 3 相电机
利用温度传感器(3TF)达到*佳的电机保护
集成型气镇阀和高压**阀。
适于所有粗真空和中度真空范围的应用。
带有电磁离合器
其他电动机电压的供货备询
声压根据ISO 3744,等级2根据 PNEUROP 的典型极限压力
A
726 毫米
B
312 毫米
C
66 毫米
产品特性