旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液，这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。通过使用磁耦合，这种泵的整体泄漏率低于 1 · 10-7 Pa m3/s，从而使腐蚀性应用时的运行**性*大化。全氟聚醚 (PFPE) 工作液必须单独订购。
CVD 涂层
涂层（磨损保护）
半导体技术
研究和开发
空间节省且理想适用于系统集成
小尺寸时抽吸能力高
低*终压力
运行**，针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
由于化学惰性，工作液使用时间长
通过密封设计，**性超高
**，洁净，低维护
紧凑结构 - 杰出功率数据
不含有色金属
集成型**阀和气镇阀
通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
具有 10 m3/h 抽吸能力的双级高功率旋片泵
带有 1 相电机
集成型气镇阀和HV**阀
适于所有粗真空和中度真空范围的应用
带磁性接合器的腐蚀性气体机型
特点：通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
声压根据ISO 3744，等级2根据 PNEUROP 的典型压缩终了压力
尺寸
产品特性