旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。
CVD 涂层
涂层(磨损保护)
半导体技术
研究和开发
空间节省且理想适用于系统集成
小尺寸时抽吸能力高
低*终压力
运行**,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
由于化学惰性,工作液使用时间长
**,洁净,低维护
集成型**阀和气镇阀
特点:通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用
不含有色金属
具有*高 70 m3/h 抽吸能力的双级高效旋片泵
带 3 相电机
利用温度传感器(3TF)达到*佳的电机保护
集成型气镇阀和高压**阀。
适于所有粗真空和中度真空范围的应用。
腐蚀性气体机型
根据 PNEUROP 的典型压缩终了压力
A
725 毫米
B
392 毫米
C
146 毫米
产品特性