真空电机系列产品根据客户需求，不同的型号可适用真空度优于10-7PA的环境，温度下限-196℃，温度上限+300℃。另外，部分型号还具有极强的抗辐射能力，耐辐射能力达107GY。同时电机还可扩展抗冲击、耐辐射、耐盐雾、抗霉菌等性能特性。
丝杆模组滑台高温低温真空模组
型号：VC60、VC90、VC120 行程：50-800（接受定制） 导程：2-35 重复定位精度：±0.05mm *高转速：1000rpm
真空模组，可在10-7PA的真空环境下运行，耐温达200℃，真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率低的材料。此系列产品主要应用于真空室。高温室，高洁净度环境。一款高洁净真空环境用的真空位移台，真空步进电机运动平台模组
特点：
一体化设计，可靠易用
标准化设计制造60，90，,120三种规格，可定制其他规格
工作环境温度-196℃至200℃
适用真空度10-7PA
模块化设计
免维护设计
承载，导向，驱动一体
高承载，高精度，高速度
简单易用，可靠性高，以保证高效率
特点
* 环境温度从 -196℃ (-320.8℉) to +200℃ (+392℉) * 真空度 10-7Pa (10-9mbar)
产品主要
* 真空室 * 高温室 * 高洁净度环境