通道数
二、三、四、五、六、七、八通道
配气精度
±1.0%F. S.
MFC线性度
±0.5%F.S.
MFC重复精度
±0. 2%F. S.
漏气率
1X10-9SCCSHe
静密封材料
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
预热时间
5min
工作环境温度
-20℃〜55℃
环境湿度
(15~85) % RH
外形尺寸
≤4通道：352mmX414<="">
供电
220VAC 50Hz
配气稀释比
可通 1000:1、500:1、300:1、100:1。默认为 100:1
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