新MX63/MX63L显微镜是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。
新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源，兼顾低功耗和长寿命的优点，而且其稳定的色温为可靠的图像质量和色彩复现提供了保障。
新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm，MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、**、高效的对晶圆正面和背面进行检测。
新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。
产品规格
MX63
MX63L
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正系统)
显微镜镜架
反射光照明
白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。) 通过手动操作调整3位编码分光镜组件 内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开） 观察模式：明场、暗场、微分干涉相衬（DIC）*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 和MIX观察（4个定向暗场）*2 *1选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置
透射光照明
透射光照明装置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光镜（NA 0.5）和孔径光阑 - MX-TILLB：聚光镜（NA 0.6），孔径光阑以及视场光阑 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 光导: LG-SF 观察模式: 明场、简易偏光
聚焦
行程：32毫米 每转行程微调：100微米 *小分度: 1微米 用于粗调的上限限位器和扭矩调节
*大载荷重量(包括载物台和支架)
8公斤
15公斤
观察筒
宽视场(FN 22毫米)
正像三目镜筒：U-ETR4 正像、可调倾角三目镜筒: U-TTR-2 倒像三目镜筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察) 倒像双目镜筒: U-BI30-2 倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30
超宽视场(FN 26.5毫米)
正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 100%) 正像可调倾角三目镜筒: U-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 20% : 80%) 倒像三目镜筒: U-SWTR-3
电动物镜转换器
明场 带DIC插槽的电动六孔：U-D6REMC 带DIC插槽的电动定心五孔：U-P5REMC
明场和暗场 带DIC插槽的电动六孔：U-D6BDREMC 带DIC插槽的电动五孔：U-D5BDREMC 带DIC插槽的电动定心五孔：U-P5BDREMC
载物台 (X × Y)
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R 行程: 210 x 210毫米 透射光照明区域：189 x 189毫米
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 行程: 158 x 158毫米 (仅适用于反射光)
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射区域：356 x 284毫米
重量
约35.6公斤 (显微镜架26公斤)
约44公斤 (显微镜架28.5公斤)