HF5000作为一款球差校正冷场发射透射电镜，其分辨率达到了亚埃级，可以实现对样品的超细微观结构的观察和分析，适用于金属、陶瓷、半导体、纳米材料等的观察。同时，HF5000独特的TEM、STEM、SEM三位一体功能不仅可以实现对材料内部结构的研究，也可以获得材料表面的信息。原子级分辨率的二次电子探测器可以弥补TEM和STEM无法观察样品表面的缺陷，同时相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以满足样品表面高分辨形貌和结构观察的需求，与TEM和STEM形成互补。全自动化的球差校正过程又大大简化了球差校正透射电镜的使用难度，提高了观察效率，尤其适合测试平台和科研中心等用户
主要参数
电子枪
冷场发射电子枪
加速电压
60-200kV
TEM点分辨率
0.23nm
HAADF-STEM分辨率
0.078nm
能谱
无窗SDD能谱，2 x 100mm2，固体角2.0 Sr
电子能量损失谱
Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer
图像模式
TEM明场像、BF-STEM明场像、ABF-STEM环形暗场像、HAADF-STEM高角度环形暗场像、二次电子像、电子衍射花样、特征X射线像（可选）、EELS像（可选）