产品规格
电子枪
预对中钨灯丝
加速电压
0.3kV – 30kV
分辨率
3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率
5x – 300,000x（底片倍率）
7x – 800,000x（显示器倍率）
探测器
二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器
可变压力探测器UVD 2.0*
低真空可变压力范围
6 – 650Pa
样品台（三轴马达）
X: 0 - 150 mm
Y: 0 – 150 mm
Z: 5 – 85 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°