为什么面板玻璃要镀ITO导电膜，ITO导电玻璃都有哪些分类和特点？

为什么面板玻璃要镀ITO导电膜？

ITO导电膜,可以导电和透光,是“透明导电膜”的一种.在玻璃基板上镀ITO导电膜后，好比如果玻璃用于“窗户”,ITO膜通电后可以减少“窗户”的雾气；如果玻璃用于液晶显示器的配件,ITO膜蚀刻成为电路,通电后可以控制液晶的偏转（程度）,我们就可以看到从液晶后面透过来的光,这些光就组成了图像；由于液晶分子必须夹在两电极之间，才便于控制其的偏转，所以在液晶面板的两面：TF面和CF面都要镀ITO。

一、ITO导电玻璃

什么是ITO导电玻璃？

ITO（Indium Tin Oxide，氧化铟锡）导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。在平板显示产业中主要应用在触摸屏和液晶面板领域。触摸屏领域应用的是TP-ITO导电玻璃，而液晶面板领域应用的是LCD-ITO导电玻璃，两者的主要区别在LCD-ITO导电玻璃还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。优异LCD-ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。LCD-ITO导电玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃，它采用磁控溅射沉积成膜技术，以ITO材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性，适于制作透明显示电极，是平板显示器生产的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm，它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点，因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了40多年的历程，并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。

早期的ITO导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求，尤其是氧气流量的稍许波动，就可能形成氧化反应不充分，而使膜层透过率和蚀刻性能变差；或因氧气流量较大，而造成靶面"中毒"，使溅射效率下降，从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此，材料商开发出了氧化靶，即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按一定比例充分混合好，再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进，ITO靶材密度逐步提高，现在已达到99.5%以上，基本满足了ITO导电玻璃的需要。ITO导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻（或方块电阻）、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。

ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN、TFT液晶显示器和透明线路板。ITO导电玻璃按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN、TFT液晶显示器产品。ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

二、TP-ITO导电玻璃

触摸屏虽然不是显示器件，但作为显示器件输入功能组件，其应用范围越来越广泛，发展迅速，已成为当今显示器不可或缺的部件。随着触摸屏产业不断地发展壮大，TP-LCD导电玻璃产业的发展也水涨船高。

目前，TP-ITO导电玻璃的国际生产厂商主要集中在电子产品较为发达的日本、韩国和我国台湾地区，国内主要生产厂商为南玻A、蚌埠华益、康达克和万德宏，以及众多的TP-ITO导电玻璃厂商争夺中低端市场。

当今移动终端市场发展很多，对触摸屏需求也不断提升。今年TP-ITO导电玻璃市场商机将进一步加大。未来，随着触摸屏与液晶面板产业的融合趋势加快，相信TP-ITO导电玻璃在技术和优异市场方面将获得突破性进展。

三、LCD-ITO导电玻璃

经过多年的发展，中国的LCD产业从无到有，从小到大，已经具有相当的规模。与LCD产业相关的LCD-ITO导电玻璃产业，也得到了长足的发展，其月产能已经突破了550万片。加上国外的LCD-ITO导电玻璃进口量，国内的ITO导电玻璃已经达到每月700万片。但国内企业所生产的LCD-ITO导电玻璃大多处于STN-LCD/CSTN-LCD用ITO导电玻璃的中低端，而在优异的TFT-LCD/OLED-ITO导电玻璃生产上处于劣势。

1、STN-LCD用ITO导电玻璃

随着LCD的发展，80年代中期开发出了STN-LCD，对ITO导电玻璃提出了更高的要求，主要是基板玻璃表面更加平整，表面电阻要低。因此基板玻璃在镀制ITO膜层前增加了抛光工序，以降低玻璃表面的微观波纹度，保证STN-LCD的盒厚均匀性。STN-LCD的显示以点阵为主，其ITO线条很细，保证了其导电性，降低了ITO导电玻璃的电阻。此类显示器主要用于早期的黑白显示手机、电子辞典、游戏机、办公设备、普通MP3、电子仪表等。

2、CSTN-LCD用ITO导电玻璃

彩色STN-LCD是90年代初发展起来的，通过在黑白STN-LCD中使用彩色ITO导电玻璃的方法，从而达到显示彩色画面的目的。CSTN-LCD用ITO导电玻璃，又称为彩色滤光片（colorfilter，CF），它是先在基板玻璃上做出红绿蓝（RGB）三原**素图形，然后在其上镀制ITO膜层。通过相应的LCD制造工序，可以实现控制每个RGB色素的透光率的变化，合成出不同颜色的像素，从而实现彩色显示。

CF与普通ITO导电玻璃有着两方面根本的不同。**，结构不同。CF要采用涂布、光刻等图形加工技术，将RGB三原色颜料预先制作在基板玻璃上。**，ITO膜制作工艺不同。普通ITO导电玻璃镀膜时，玻璃温度可高达约350℃，溅射电源采用DC（直流）方式。但由于RGB颜料为树脂型材料，不能经受如此高的温度，只能低温镀膜，玻璃温度不得超过230℃。而为了保证较好的ITO膜特性，如表面电阻、膜厚、透光率、蚀刻性能等，CF上镀制ITO膜层时，溅射电源通常采用RF+DC（射频+直流）方式。

CSTN-LCD的构造与普通黑白STN-LCD的构造基本相同。简单地讲就是将黑白STN-LCD的一面透明ITO导电玻璃换成了彩色滤光片。其制作工序与普通黑白STN-LCD的制作工序相似，但在曝光对位、PI材料、液晶材料、SPACER材料、成盒、IC和良率等方面有着与普通黑白STN-LCD本质的不同，因此增加了工艺难度和提高了对材料性能的要求。

伴随着来自TFT-LCD方面的强大竞争压力，近年来CSTN-LCD也得到了快速的发展，生产技术日趋成熟。其产品的色彩再现性、响应速度和良率等方面均得到了大幅提升，而原材料成本和生产成本逐年下降。因此，CSTN-LCD产品仍然会有一定的市场份额，并将开拓出一些新的应用领域。目前CSTN-LCD产品主要用于彩屏手机、彩屏MP3、PDA、上等电器控制面板、数码照相机等。

3、TFT-LCD用ITO导电玻璃

TFT-LCD的结构是，一面为TFT阵列玻璃，另一面为彩色滤光片。TFT-LCD用的彩色滤光片与通常的彩色滤光片相似，但又有着以下三方面的不同：**，基板玻璃材质不同，通常LCD用ITO导电玻璃的材质为钠钙玻璃，而TFT-LCD用ITO导电玻璃均使用无碱低膨胀系数的硼硅玻璃，以保证其较高的温度稳定性；**，表面质量要求更高，由于在TFT-LCD结构中，彩色滤光片对应的是价格较高的TFT阵列玻璃，彩色滤光片的缺陷必然会造成TFT阵列玻璃的报废，因此，对彩色滤光片每个单粒的表面质量要求很高，粒合格率几乎接近100%；第三，ITO镀膜工艺不同，因为TFT-LCD的显示控制主要在于TFT阵列玻璃上，彩色滤光片上不需膜层镀制时，采用掩膜镀的方式，即在彩色滤光片上镀制ITO膜层时用掩膜板遮挡，只在需要的区域镀上ITO膜，从而省略TFT-LCD制作时的蚀刻工序。但此做法也存在一定的不利因素，如掩膜板的制造及其固定等问题。TFT-LCD液晶屏主要应用于优异显示器上，主要有彩色液晶电视机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑、数码摄像机、数码照相机等。目前TFT-LCD显示器发展迅速，占平板显示市场约80%的份额。

4、OLED-ITO导电玻璃

有机发光显示器（英文简称OLED），是一种在电流驱动下，通过载流子注入和复合，复合后形成激子，由激子辐射衰减而发光的显示器件。它具有自主发光、视角宽、轻薄、便于携带等特点。OLED显示器仍然需要ITO膜层作为透明的电极。其基本结构是：首先在玻璃基板上镀制ITO膜层，然后再制作有机材料发光层。由于OLED显示是以电流驱动的，ITO膜层表面的微小突起会形成**电流异常，而影响显示效果，因此必须除去ITO膜层表面的微小突起。目前主要的去除方法是在镀制ITO膜层后，再采用特殊的膜层抛光技术，将ITO膜层表面的微小突起抛掉。可以说OLED用ITO导电玻璃联合应用了ITO导电玻璃方面的镀膜和抛光技术。

采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。