薄膜应力测试原理及应用
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上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件的高科技企业，公司2005年成立在上海闵行零号湾创业园区，专业的光电镀膜公司，技术背景依托中国科学院，卷柔产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工；光学透镜、反射镜、棱镜，平板显示，安防监控等光学镀膜产品的开发和生产，为全球客户提供上等的产品和服务。
为什么检测薄膜应力？ 薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：1.膜裂；2.膜剥离；3.膜层皱褶；4.空隙。 测试原理 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,通过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 带入Stoney’s Equation计算出应力。 测试案例 压电MEMS器件 样品名称：Si晶圆<100> 样品尺寸：6inch 样品厚度：675um 薄膜厚度：10200Å 薄膜材料：AlN MEMS 样品信息： 样品名称：LiNbO₃ 样品尺寸：6inch 样品厚度：500um 薄膜厚度：2900Å 薄膜材料：复合金属层 LED器件芯片 样品信息： 样品材质：Si晶圆<111> 样品尺寸：4inch 样品厚度：475um 薄膜厚度：500nm 薄膜材料：Ni 电子显示器件 样品信息： 样品名称：Si晶圆<100> 样品尺寸：4inch 样品厚度：500um 薄膜厚度：8012.1Å 薄膜材料：SiON 来源：米格实验室
为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：1.膜裂；2.膜剥离；3.膜层皱褶；4.空隙。
测试原理
薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,通过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 带入Stoney’s Equation计算出应力。
测试案例
压电MEMS器件
样品名称：Si晶圆<100>
样品尺寸：6inch
样品厚度：675um
薄膜厚度：10200Å
薄膜材料：AlN
MEMS
样品信息：
样品名称：LiNbO₃
样品厚度：500um
薄膜厚度：2900Å
薄膜材料：复合金属层
LED器件芯片
样品材质：Si晶圆<111>
样品尺寸：4inch
样品厚度：475um
薄膜厚度：500nm
薄膜材料：Ni
电子显示器件
薄膜厚度：8012.1Å
薄膜材料：SiON
来源：米格实验室
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卷柔减反射(AR)玻璃的特点:高透,膜层无色,膜硬度高,抗老化性强(耐候性强于玻璃),玻璃长期使用存放不发霉,且有一定的自洁效果.AR增透减反膜玻璃产品广泛应用于**文博展示、低反射幕墙、广告机玻璃、节能灯具盖板玻璃、液晶显示器保护玻璃等多行业。 我们的愿景：卷柔让光学更具价值！ 我们的使命：有光的地方就有卷柔新技术！ 我们的目标：以高质量的产品，优惠的价格,贴心的服务，为客户提供优良的解决方案。 上海卷柔科技以现代镀膜技术为核心驱动力，通过镀膜设备、镀膜加工、光学镀膜产品服务于客户，努力为客户创造新的利润空间和竞争优势，为中国的民族制造业的发展贡献力量。