适用范围:
1.覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,
3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率,导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,
4.抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等,
功能描述:
1. 四探针单电测量方法
2. 液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿.
3. 集成电路系统、恒流输出.
4. 选配:PC软件进行数据管理和处理.
5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择
参照标准:
1.硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
技术参数:
规格型model
ZB-331
ZB-332
ZB-333
ZB-334
ZB-335
ZB-336
1.方块电阻范围Sheet resistance
10-5~2×105Ω/□
10-4~2×105Ω/□
10-3~2×105Ω/□
10-3~2×104Ω/□
10-2~2×105Ω/□
10-2~2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity
10-6~2×106Ω-cm
10-5~2×106Ω-cm
10-4~2×106Ω-cm
10-4~2×105Ω-cm
10-3~2×106Ω-cm
10-3~2×105Ω-cm
测试电流范围
Test current
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
10μA,100µA,1mA,10mA,
100mA
0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 Current accura
±0.1%
±0.2%
±0.3%
5.电阻精度Resistance
≤0.3%
≤0.5%
6.显示读数display
液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式test mode
普通单电测量general single electrical measurement
8.工作电源power
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.误差errors
≤4%(标准样片结果 Standard Sample results)
10.选购功能choose to buy
选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.测试探头Test probe
探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.