产品特点:
1. 主要流量器件采用进口,保证流量控制精度;
2. 通用外观尺寸,可采用滑轨安装;
3. 控制系统完善,显示多种状态、温度信息方便用户操作;
4. 管路简化合理、响应时间符合相关要求;
5. 使用单独控制的气体电磁阀来控制不同的气体入口;
规格参数
操作温度:
0-45℃
零气:
5.10,15,20slm
标气:
25.50,100,500sccm
稀释比:
取决于选择的质量流量控制器
响应时间:
低流量时小于1min,高流量时更快(气相滴定模式响应时间增加到4min)