德国CS进口露点传感器 - FA 510/515在半导体厂监控氮气供给体系中的使用

  半导体厂的氮气供应方式取决于用气规划、氮气出产工厂间隔、工厂是零散分布或是群聚设置运用不同的供气方式，常见如桶槽供应方式、钢瓶供应方式、管道供应方式、用气端供应方式等。不管任何一种供应方式，都必须由运送系统之氮气贮存容器，如高压钢瓶，或吸附式的气体贮存钢瓶，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱，进行流量之控制与进气的混合比例控制，再供应给制程后端机器运用。

     

为抵达氮气运用的规范，一般会设备露点传感器在气体传送至冷冻干燥机前端，也可设备在烘烤净晶圆体前，如此一来可以更精准的监控氮气运送进程的露点值保持在极低湿的程度，以前进制程中的良率。         

在半导体工业运用的氮气大多会直触摸摸电子零件，纯度需抵达ppm、ppb级，洁净度则为尘土粒径控制小于0.1 … 0.05m，干燥度抵达压力露点-40℃ … -70℃。

为抵达氮气运用的规范，一般会设备露点传感器在气体传送至冷冻干燥机前端，也可设备在烘烤净晶圆体前，如此一来可以更精准的监控氮气运送进程的露点值保持在极低湿的程度，以前进制程中的良率。

德国CS进口露点传感器 - FA 510/515

露点探头特点：用于测量压缩空气和气体中的残留水分；测量范围 -80 ... + 20℃或 -20 ... + 50℃。技术指标：压力范围：-1...50bar；特殊版本高达350bar

德国CS进口露点传感器 - FA 510/515

剩余湿度测量范围从 -80 至+ 20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd。新特点：带 Modbus-RTU 接口。

用于测量冷冻式干燥机 -80 至 +20°Ctd 或-20至+50°Ctd的湿度

新一代露点传感器另配有常用的 4...20 mA 模拟量输出、RS 485 数字接口 (Modbus-RTU)。露点传感器通过这个 RS 485 数字接口测到和计算的所有测量值均可通过 Modbus 协议调取，如露点、温度、湿度等。

传感器和分析设备在旧版本的基础上做了进一步的改进。尤其是集成了经改良的温度补偿器，提高了各种环境温度下的准确度并增强了传感器信号的分辨率。如同旧版本一样，新式露点传感器已经表现出了长久稳定且可靠的测量值。传感器元件抗结霜，因此标配不锈钢烧结帽，防止直接接触杂质颗粒。

FA 510/515 - 德国CS露点传感器露点探头监测吸附式干燥机的特别优势：

测量范围 -80...+20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd

长期使用极其稳定

模拟量输出 4...20 mA

抗结霜

适应时间短

耐压高达 350 bar（特殊版本）

新特点：Modbus-RTU 接口

新特点：通过改进的电子分析装置实现更高的传感器信号分辨率

新特点：使用手持式设备或 CS 服务软件在现场进行传感器诊断