在半导体生产过程中,对气体中氧含量的**控制是至关重要的。这是因为氧含量会直接影响半导体的性能和可靠性。为了满足这一严格要求,许多半导体制造商选择了美国TELEDYNE的在线氧分析仪3000TA。
在半导体的制造过程中,需要使用大量的气体,如氧气、氮气、氩气等。这些气体中的杂质和污染物会对半导体的性能产生负面影响。因此,**测量和控制这些气体中的氧含量是至关重要的。美国TELEDYNE的在线氧分析仪3000TA能够实时监测这些气体的氧含量,确保生产过程中的气体质量符合标准。美国TELEDYNE在线氧分析仪3000TA在半导体生产中的应用及优势
其高灵敏度可达到0.5%FS,这意味着它可以非常准确地检测到气体中微小的氧含量变化。这对于半导体生产中的严格控制是至关重要的,可以确保产品的质量和性能。美国TELEDYNE在线氧分析仪3000TA在半导体生产中的应用及优势
采用Class L-2C微燃料电池传感器,这种传感器具有高的稳定性和准确性。它利用化学反应来测量氧含量,因此不受温度、压力或流速变化的影响。此外,这种传感器具有较长的使用寿命和较低的维护成本,可降低生产成本。
还具有多种量程选择和自动量程转换功能。这意味着无论气体中的氧含量如何变化,该分析仪都能自动调整测量范围,确保测量结果的准确性和可靠性。这为生产过程中的气体控制提供了极大的便利。
在信号输出方面,该分析仪提供了0-1VDC和4-20mADC两种输出方式,使得与其他设备的连接更为方便。响应时间短至90%<60 s,可以快速地响应氧含量的变化,提高生产效率。美国TELEDYNE在线氧分析仪3000TA在半导体生产中的应用及优势
此外,该分析仪还具有自动标定/零点功能和用户提供24VDC信号远程激发标定/零点功能。这确保了分析仪的准确性和可靠性,降低了由于设备故障或误差引起的生产损失。
美国TELEDYNE的在线氧分析仪3000TA在半导体生产中发挥着重要的作用。通过实时监测和控制气体中的氧含量,该分析仪为制造商提供了可靠的生产保障,确保了半导体的性能和可靠性。美国TELEDYNE在线氧分析仪3000TA在半导体生产中的应用及优势
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