真空计的种类

真空计根据用途、测量方法、测量范围可分为多种类型。

1. 用途别
分压真空计
选择分压真空计仅测量个别气体的真空度。当两种或多种气体混合时，每种气体所表现出的压力就是分压。

它用于分析真空质量，因为即使在相同压力下，性能也会根据气体类型而有所不同。质谱仪是一种常见的分压真空计。

质谱仪由三部分组成：离子源、分析部分和检测部分。通过使用电场和磁场，可以通过仅观察特定离子来确定每种气体的压力。


当您想简单地测量空间的真空度时，请选择全压真空计。根据测量方法的不同，有多种类型，因此有必要选择一种适合您的用途的类型。

2.测量方法
测量方法主要分为三种类型。这些是“检测压力本身的方法”、“利用气体传输现象的方法”和“利用气体中的电离现象的方法”。

本身检测压力的方法
U型管真空计是利用压力本身检测的真空计。 U型真空计是一种差压表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。

气体压力差可以从压力差引起的液柱高度读取。 U型真空计的独特之处在于它不属于气体类型。因此，它被用作其他真空计的校准标准，因为它允许**测量压力。

利用气体传输现象的方法
热传导真空计是利用气体传输现象的真空计。这是利用气体的热导率根据压力而变化的特性的真空计。

热传导真空计有多种类型，包括皮拉尼真空计、热敏电阻真空计和热电偶真空计。关于热传导真空计需要注意的重要一点是，在高真空下，热辐射的影响变得大于热导率的影响。因此，热导真空计的缺点是不能用于高真空测量。

利用气体中的电离现象的方法
利用气体中的电离现象的真空管包括潘宁真空计(冷阴极电离真空计)和离子计(热阴极电离真空计)。彭宁真空计可以利用真空中的放电现象来测量压力。虽然具有优异的耐久性，但其灵敏度根据气体种类的不同而有很大差异。

潘宁真空计的优点是电路配置简单。另一方面，其缺点是潘宁放电不稳定，难以高精度测量。此外，如果表面污染严重，则从阴极发射的电子量会减少，导致无法放电，并且如果阴极处于高真空中，则可能难以开始放电。

3、测量范围
压力分为低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，根据真空计的类型不同，测量真空度也不同。根据JIS（日本工业标准），真空度根据压力范围分为如下所示的五类。皮拉尼真空计可以测量低真空到中真空，电离真空计可以测量中真空到超高真空。

低真空 (low vacuum): 105Pa～102Pa
中真空 (medium vacuum): 102Pa～10-1Pa
高真空 (high vacuum): 10-1Pa～10-5Pa
超高真空 (ultra high vacuum): -5Pa～10-8Pa
极高真空(extremely high vacuum): 10 -8 Pa以下