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深紫外灯专用灯箱的标准化
吉田 吉田,USHIOSPECS Co., Ltd.
介绍
自从我们将小型短弧灯专用灯箱“OPTICAL MODULEX”商业化以来,作为多用途实验和研究的灯箱,已经过去了两年半。这段时间,很多研究人员问我们,“Ushio卖DeepUV灯,但它没有灯箱吗?”对于给用户带来的不便,我们深表歉意,我们*近完成了标准化。
1.灯管深紫外灯管500W UXM-500SX
“光学模块”的易用性很大程度上得益于专用灯,因此我们开发了一种带有预设型引线的产品,如图1所示。在性能方面,它与标准UXM-501MA 相同。
这使用户免去了对准光轴的麻烦。此外,您不再需要担心紫外线会损坏引线,因为每次更换灯泡时都会更新引线。
深紫外灯UXM-500SX
深紫外灯是基于氙灯并充满金属蒸气的高强度点光源,它们是为曝光更精细的半导体电路图案而开发的,并且具有很强的抗深紫外线光谱。 。此外,由于该区域的波长具有化学活性,因此印刷以外的应用也在研究中。
预置式引线灯
2.电源BA-M500
这也统一为与氙灯500W的“光学模块”相同的设计。
由于启动器内置于灯箱中,因此所有连接器连接都可以**可靠地接线。当然,它有一个联锁机构,如果不必要地打开灯箱盖,它会关闭电源。
深紫外灯 500W
输入/90~130V/AC 50/60Hz
输出/DC25V
输出电流/20A DC
输入功率/900VA
重量/6.0kg
3.灯塔
大多数使用此灯的人需要 300nm 左右的强紫外线能量。在这种情况下,许多人使用滤光片来滤除可见光和红外区域中不必要的光。然而,过滤器可能会因热量而破裂,并且过滤器发出的二次热量可能会影响工件。为了防止这种情况,我们在灯箱中安装了过滤器专用的冷却风扇。
此外,为了提高远紫外光的透过率,合成石英镜片现已成为标准规格。
*“OPTICAL MODULEX”的所有选项均可共享。
[均匀平行光照射型]
通过使用滑动聚光透镜,即使有效照射直径很小,但对于那些想要高功率的人来说,我们也可以在直径为Φ30的情况下获得80mW/cm 2 (365nm)的输出。
*通常情况下,出厂时配备Φ50和50mW/cm 2 (at 365nm),但如果您在订购时提出要求,我们将按照上图设置发货。
距离准直透镜顶端100mm。强度是灯的初始值。
型号中的后缀“ ”表示聚光镜和准直镜均为合成石英。
[高能照射型]
同样,合成石英镜片现在已成为标准配置。规格为椭圆反射镜和平面镜,但为了满足用户的要求,我们增加了全反射镜、UV365镜(反射约320至460 nm)和UV254镜(反射约220至410 nm) ) 为标准规格。请在订购时检查。
*如图所示,光通量有轻微的张开角度。如果你想改变这一点,你将需要改变镜头系统。
型号后缀“ ”表示聚光镜和准直镜均为合成石英。
[修改规格]
许多研究结果可以通过照射真空室内部来预期,但也可以使用修改后的规格,例如将房子放置在真空室上方的石英窗顶部并直接照射下方,或者将光集中以加热真空室。我们收到了很多要求。我们还接受 200W 型 DeepUV 灯作为修改规格。
版权所有 © USHIO INC. 保留
这些是基于氙气灯的高强度点光源汞蒸气灯。
它们的特点是波长范围为 230 至 320 nm 的远紫外线辐射,用于短波长光化学反应、紫外线固化和光刻。
1. 增强电极设计,定位**,电弧稳定性高。
2.改进的制造工艺可以延长使用寿命。
3.USHIO 通过严格控制的 ISO 质量流程开发产品。
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