真空计的类型测量方法池田屋实业

日期：2025-02-23 05:34

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摘要：真空计的类型测量方法池田屋实业真空计的类型测量方法池田屋实业

真空计的类型测量方法池田屋实业

什么是真空计？

真空计是测量一定空间内真空度的传感器。

根据用途，选择分压真空计或全压真空计。另外，测量方法有很多种，可测量的真空范围根据这些差异而变化。

真空空间通常用于需要高清洁度的制造场所，因为可以*大程度地减少包括水分在内的杂质。其中，真空计安装在与需要真空度控制的腔室和石英管连接的流体回路中。

真空计通常安装在半导体制造设备的等离子蚀刻空间以及冶金、有机合成等实验设备中。它还用于需要表面清洁度的场合，例如离子束设备、气相沉积设备以及其他需要表面清洁度的应用。

真空计的类型和测量原理有很多种。真空计成功测量少量气体分子的动量，并将其转换为气体密度和空间真空度。*流行的真空计类型是皮拉尼真空计。

皮拉尼真空计是一种电阻式真空计，可根据气体与携带电流的铂丝碰撞时损失的热能计算出电流，然后根据该值计算出压力。其机制是，这一微小压力直接对应于真空度。

真空计有多种类型，因此您需要选择*适合您用途的一种。由于特性因使用类型和测量方法而异，因此彻底了解每种特性非常重要。

此外，真空计有多种类型，因此您需要根据要测量的真空空间的真空度来选择一种真空计。如果您想保证*终的真空度，一个真空计就足够了，但如果您想了解真空泵的行为，例如抽气速度，则需要安装多个真空度。

真空计根据用途、测量方法、测量范围可分为多种类型。

分压真空计
选择分压真空计仅测量个别气体的真空度。当两种或多种气体混合时，每种气体表现出的压力就是分压。

它用于分析真空质量，因为即使在相同压力下，性能也会根据气体类型而有所不同。质谱仪是一种常见的分压真空计。

质谱仪由三部分组成：离子源、分析部分和检测部分。通过使用电场和磁场，可以通过仅观察特定离子来确定每种气体的压力。

当您想简单地测量空间的真空度时，请选择全压真空计。根据测量方法的不同，有多种类型，因此有必要选择一种适合您的用途的类型。

测量方法主要分为三种类型。这些是“检测压力本身的方法”、“利用气体传输现象的方法”和“利用气体中的电离现象的方法”。

本身检测压力的方法
U型管真空计是利用压力本身检测的真空计。 U型真空计是一种差压表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。

气体压力差可以从压力差引起的液柱高度读取。 U型真空计的独特之处在于它不属于气体类型。因此，它被用作其他真空计的校准标准，因为它允许**测量压力。

利用气体传输现象的方法
热传导真空计是利用气体传输现象的真空计。这是利用气体的热导率根据压力而变化的特性的真空计。

热传导真空计有多种类型，包括皮拉尼真空计、热敏电阻真空计和热电偶真空计。关于热传导真空计需要注意的重要一点是，在高真空下，热辐射的影响变得大于热导率的影响。因此，热导真空计的缺点是不能用于高真空测量。

利用气体中的电离现象的方法
利用气体中的电离现象的真空管包括潘宁真空计(冷阴极电离真空计)和离子计(热阴极电离真空计)。彭宁真空计可以利用真空中的放电现象来测量压力。虽然具有优异的耐久性，但其灵敏度根据气体种类的不同而有很大差异。

潘宁真空计的优点是电路配置简单。另一方面，其缺点是潘宁放电不稳定，难以高精度测量。此外，如果表面污染严重，则从阴极发射的电子量会减少，导致无法放电，并且如果阴极处于高真空中，则可能难以开始放电。

压力分为低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，根据真空计的类型不同，测量真空度也不同。根据JIS（日本工业标准），真空度根据压力范围分为如下所示的五类。皮拉尼真空计可以测量低真空到中真空，电离真空计可以测量中真空到超高真空。