企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
- 联系人：韩政
- 电话：17607554908
-
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- Email：hz@ikedaya.cn
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产品详情
简单介绍：
全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
详情介绍：
全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
- 自由安装位置
- 尺寸紧凑
- 节能减排
- 快速启动
- 可快速排气停止
- 与大气入口兼容
- 可串行通讯
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・分析测试设备
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。
- 规格
- 外形尺寸
- 性能曲线
- 控制器
| 进气法兰 |
VG65 ISO-R63 CF63 |
|
| 抽速 | 氮气（升/秒） | 51 |
| N 2 (带保护丝网) (L/s) | 49 | |
| H2 （升/秒） | 12 | |
| *大压缩比 | N2 | 1.4× 107 |
| H2 | 5× 102 | |
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <3× 10-6 |
| VG・ISO-R/CF (托) | <2.3×10 -8 | |
| *大气体流量*1 | 氮气( sccm ) | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 停止时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 允许辅助压力 | （帕/托） | 1330 / 10 |
| 推荐辅助泵 | (升/分钟) | ≧50 |
| 安装位置 | 自由地 | |
| 大量的 | VG·ISO-R / CF(公斤) | 4.2/6 |
| 控制器型号 | TC64 | |
*1：辅助泵容量为100L/min时的*大允许流量
[使用环境温度]
保证极限压力的环境温度为10～23℃。另外，风冷时允许环境温度为 10 至 32°C，水冷时允许环境温度为 10 至 40°C。极限压力保证冷却水温度为30℃以下，允许冷却水温度为10～35℃。
[兼容气体类型]
根据吸入气体类型，轴承润滑油脂和内部零件可能会劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。