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  • 产品名称:全新Osaka Vacuum大阪真空稳定分子泵TG240F

  • 产品型号:TG350F
  • 产品厂商:Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍:
全新Osaka Vacuum大阪真空稳定分子泵TG240F 全新Osaka Vacuum大阪真空稳定分子泵TG240F
详情介绍:

全新Osaka Vacuum大阪真空稳定分子泵TG240F

全新Osaka Vacuum大阪真空稳定分子泵TG240F


・半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

各种电子零件的制造

分析测试设备

管材制造、光学零件制造

加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*排出腐蚀性气体等时,请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。


  • 规格
  • 外形尺寸
  • 性能曲线
  • 控制器
模型 TG240F
进气法兰  CF100/ISO-R100
抽速 氮气升/秒) 240
2 (带保护丝网) (L/s) 230
H2 升/秒) 160
*大压缩比  N2 1× 108
H2 4×10 4
极限压力  ISO-R(帕/托) <1×10 -6 /<7.5×10 -9
CF(帕/托) <5×10 -7 /<3.8×10 -9
*大气体流量*1 氮气( sccm ) 70
启动时间 (分钟)  5.5-6
允许辅助压力 (帕/托) 700/5.3
推荐辅助泵 (升/分钟) ≧80
安装位置 自由地
大量的 ISO-R/CF(公斤)  7.3/10.5
控制器型号 TC245(集成)*2
输入电压(V) 直流24V
*大所需功率(W) 75W
  • *1:辅助泵容量为80L/min时的*大允许流量
  • *2:您可以选择泵和控制器集成的类型(TC245)和泵和控制器单独安装的分离类型(TC246)。
  • [兼容气体类型]
  • 根据吸入气体的类型,可能会损坏轴承润滑油脂和内部零件。请联系我们了解兼容的气体类型。
  • [工作环境温度]
  • 保证极限压力的环境温度为10~23℃。另外,允许的环境温度为8℃至38℃。



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