企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
- 联系人：韩政
- 电话：17607554908
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- Email：hz@ikedaya.cn
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产品详情
简单介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F
日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F
详情介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F
日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・分析测试设备
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。
- 规格
- 外形尺寸
- 性能曲线
- 控制器
| 模型 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*W* | |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
| 抽速 | 氮气（升/秒） | 1100 | |
| N 2 (带保护丝网) (L/s) | 1000 | ||
| H2 （升/秒） | 720 | ||
| *大压缩比 | N2 | 1× 108 | |
| H2 | 1×10 4 | ||
| 极限压力 | （帕/托） | <1×10 -6 /<7.5×10 -9 | |
| *大气体流量*1 *2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 启动时间*2 | （分钟） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停止时间*2 | （分钟） | 27-32 | 12-15日 |
| 允许辅助压力 | （帕/托） | 330/2.5 | |
| 推荐辅助泵 | (升/分钟) | ≧250 | |
| 安装位置 | 自由地 | ||
| 大量的 | VG・ISO-B/CF(公斤) | 28/27 | |
| 控制器型号 | TC1104 | TC1103 *3 | |
- *1：辅助泵容量为500L/min时的*大允许流量
- *2：根据电源型号而变化（标准：TC1104）
- *3：风冷时需更换风冷风扇（TG1100F***-60）
- [工作环境温度]
- 保证极限压力的环境温度为10～23℃。另外，风冷时允许环境温度为10～32℃，水冷时允许环境温度为10～40℃。极限压力保证冷却水温度为30℃以下，允许冷却水温度为10～35℃。
- [兼容气体类型]
- 根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑油脂和内部零件。请联系我们了解兼容的气体类型。