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  • 产品名称:全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M

  • 产品型号:TG1300M
  • 产品厂商:Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍:
全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M 全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M
详情介绍:

全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M

全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M


・半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

各种电子零件的制造

分析测试设备

管材制造、光学零件制造

加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发


  • 规格
  • 外形尺寸
  • 性能曲线
  • 控制器
进气法兰 

VG150

CF160

ISO-B160

抽速 氮气升/秒) 900
2 (带保护丝网) (L/s) 860
H2 升/秒) 1050
*大压缩比  N2 1× 108
H2 1.5×10 4
极限压力  VG・ISO-B/CF (Pa) <1×10 -6 / <1×10 -7
VG・ISO-B/CF (托) <7.5×10 -9 / <7.5×10 -10
*大气体流量*1 氮气( sccm ) 3000
启动时间 (分钟)  4~5
停止时间 (分钟) 4~5
允许辅助压力 (帕/托) 500/3.8
推荐辅助泵 (升/分钟) ≧250
安装位置 自由地
质量 (kg) VG・ISO-B/CF 34/42
控制器型号 TC010MA
特殊规格
(详情请联系我们的销售代表。)
-化学型
-对应反应产物TG-MI
-超低振动规格TG-ML -
超高真空型规格TG-MU
-耐辐射规格TG-MR



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