企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
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产品详情
简单介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵 TG-390MI
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵 TG-390MI
详情介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵 TG-390MI
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵 TG-390MI
TG-MI系列反应产物涡轮分子泵的特点
该系列针对反应产物容易积聚的设备，采用了我们独特的隔热结构/自加热机制，显着降低了反应产物积聚率。
-
加热整个周围区域（包括反应产物对策
目标区域）的传统方法
- 热量分散。
・无法有效利用。
・目标区域外的热效应
-
TG-MI系列采取的措施
除了利用外部加热器升温外，
还可以有效利用泵内部与吸入气体产生的摩擦热，有效提高与气体接触部分的温度，抑制提高了外部加热器的节能效果！ ！
- *大限度地减少对主要部件的热影响并减少对泵的损坏。
・排气管也使用隔热材料。保持*佳温度并防止排气管道中生成产物。
目的
- 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
- 容易产生反应产物的工艺设备
- 规格
- 外形尺寸
- 性能曲线
- 控制器
