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  • 产品名称: Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI

  • 产品型号:TG 2400MI
  • 产品厂商:Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍:
Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI
详情介绍:

 Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵  TG-2400MI

 Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵  TG-2400MI


TG-MI系列反应产物涡轮分子泵的特点

 

该系列针对反应产物容易积聚的设备,采用了我们独特的隔热结构/自加热机制,显着降低了反应产物积聚率。

  • 加热整个周围区域(包括反应产物对策
    目标区域)的传统方法
    - 热量分散。
    ・无法有效利用。
    ・目标区域外的热效应

 

  • TG-MI系列采取的措施
    除了利用外部加热器升温外,
    还可以有效利用泵内部与吸入气体产生的摩擦热,有效提高与气体接触部分的温度,抑制提高了外部加热器的节能效果! !
    - *大限度地减少对主要部件的热影响并减少对泵的损坏。
    ・排气管也使用隔热材料。保持*佳温度并防止排气管道中生成产物。

目的

  • 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
  • 容易产生反应产物的工艺设备

  • 规格
  • 外形尺寸
  • 性能曲线
  • 控制器



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