企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
- 联系人：韩政
- 电话：17607554908
-
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- Email：hz@ikedaya.cn
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产品详情
简单介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG2813
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG2813
详情介绍：
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG2813
日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG2813
■产品阵容包括标准型和耐腐蚀性气体排放的化学型。
■抵抗意外大气进入的结构
■ 抗外部冲击能力强
■可进行串行通信
■**标准
NRTL/SEMI-S2
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*对于清洁工艺，请选择TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。
- 规格
- 外形尺寸
- 性能曲线
- 控制器
| 进气法兰 |
VG300 ISO-B320 |
|
| 抽速 | 氮气（升/秒） | 3200 |
| N 2 (带保护丝网) (L/s) | 3000 | |
| H2 （升/秒） | 2500 | |
| *大压缩比 | N2 | 1× 108 |
| H2 | 6× 103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B (Pa) | <1× 10-6 |
| VG・ISO-B（托） | <7.5×10 -9 | |
| *大气体流量*1 | 氮气( sccm ) | 第543章 |
| 启动时间 | （分钟） | 10-15日 |
| 停止时间 | （分钟） | 25-30日 |
| 允许辅助压力 | （帕/托） | 270/2 |
| 推荐辅助泵 | (升/分钟) | 1500 |
| 润滑油量 | (毫升) | 260 |
| 安装位置 | 垂直（±10°） | |
| 大量的 | （公斤） | 100 |
| 控制器型号 | TC3213 | |
- *1：辅助泵容量为3000L/min时的*大允许流量
- [工作环境温度]
- 保证极限压力的环境温度为10～23℃。另外，允许的环境温度为10至40℃。极限压力保证冷却水温度为30℃以下，允许冷却水温度为10～35℃。
- [兼容气体类型]
- 根据吸入气体的类型，轴承润滑油和内部零件可能会变质。请联系我们了解兼容的气体类型。