模型	PPS-8500
面板尺寸	510 x 515mm（*大）
解决	2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蚀剂厚度）
NA（数值孔径）	0.16、0.1 变量
减速比	1:1
场地大小	52毫米×33毫米
曝光波长	ghi-Line gh-line i-line（食谱链接）
标线尺寸	6寸
叠加精度	≤1.0 µm(|平均|+3σ)
设备尺寸/重量	(宽)3,000×(深)4,800×(高)2,500mm / 11,000kg