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  • 产品名称:新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

  • 产品型号:VUM-3500
  • 产品厂商:ORC欧阿希
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简单介绍:
新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备 新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备 采用254nm波长,*适合去除电荷。 单波长允许低温处理。 用低入射角紫外线有效照射目标区域。 提高了LSI的成品率和可靠性。
详情介绍:

 新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

 新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备


产品规格

规格

模型 VUM-3500
晶圆尺寸 Φ300毫米(标准)
同时处理数 15 件
盒式磁带格式 晶圆传送盒
晶圆运输 自动输送
灯数量 20 件
照度测量 自动测量
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。

 

标题01
  • 采用254nm波长,*适合去除电荷。
  • 单波长允许低温处理。
  • 用低入射角紫外线有效照射目标区域。
  • 提高了LSI的成品率和可靠性。



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