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  • 产品名称: ORC欧阿希 紫外线照射装置设备

  • 产品型号:VUM-3073F
  • 产品厂商:ORC欧阿希
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简单介绍:
ORC欧阿希 紫外线照射装置设备 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备
详情介绍:

 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备
 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备


这是在半导体制造工序、液晶基板制造工序等微细图案形成工序中,对残留在基板表面的有机物照射UV,以非接触方式去除有机污染物的装置。可以在不损坏基材的情况下清洁和修饰表面。

标题01
  • 配备独特的低压紫外灯,对基材损伤小,分解有机物能力强。
  • 通过采用摆动基板的方式,将UV光量均匀地照射到基板上。
  • 主板不会发热太多。
  • 可以应用消除臭氧的照射方法和**氮气的照射方法。
 
产品规格

规格

模型 VUM-3073F
使用的灯 低压紫外线灯
VUV-040/A-2.2U・4灯
照射距离 15毫米
照射面积 200宽×200深
照射时间 0~99分59秒(可变)
废气臭氧去除 使用过滤器分解臭氧
外形尺寸 580(宽)×500(深)×240(高)mm 25kg



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