企业信息
第1年
- 入驻时间: 2024-08-01
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-
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产品详情
简单介绍:
池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵
池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵
详情介绍:
池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵
池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵
涡轮分子泵,带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
特点
- 泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
- 自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
- 排气速度300L/s~4000L/s的型号阵容。
- 分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
- 高耐用性和**性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种**性确认试验。
规格
表 1
*1:表示位数。
*2:无防护网。
*3:*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。
用途
模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
冷却方式 |
水冷 |
空气 冷却 |
水冷 |
空气 冷却 |
水冷 |
空气 冷却 |
水冷 |
空气 冷却 |
||
极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
抽气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
应收账 | 升/秒 | ー | ||||||||
他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
氢气 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
压缩率 | 氮气 | 1×10 9 | ||||||||
他 | 8× 104 | |||||||||
氢气 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
*大入口压力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
*大出口压力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
启动时间 | 5分钟或更短 | |||||||||
安装位置 | 朝任意方向 | |||||||||
表面处理 | 镀镍 | |||||||||
冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
压力 | 压力 | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
噪音 | 分贝(声级) | 60 | ||||||||
重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
推荐前级泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
控制器 | 作品 | 分离型 | ||||||||
输入电功率 | 单相AC200〜240V±10%(50/60Hz±2Hz) | |||||||||
*大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
速度变化 | 转速在额定转速的25%~100%之间可调(设定为0.1%) | |||||||||
沟通 | 接触 | |||||||||
串口:RS-232C / RS-485 | ||||||||||
重量 | 公斤 | 8 |
*2:无防护网。
*3:*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。
-
各种设备的主真空排气系统
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