UTM-B

ULVAC

采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

特点

安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。

用途

分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H₂、He等轻气体主排气系统

规格

型号				UTM70B		UTM300B
泵体	冷却方式			自然空冷	強制空冷	自然空冷	強制空冷
	法兰口径		吸气口*1	VG65, ICF114, ISO063-K		VG100, ICF152, ISO100-K
			排气口	KF16		KF16
	排气速度 (无防护网时)		N₂	70 L/s		280 L/s
			He	60 L/s		270 L/s
			H₂	49 L/s		220 L/s
	到达压力 *2	烘烤后		- *3	10^-8Pa	- *3	10^-8Pa
		烘烤前		10^-6Pa		10^-6Pa	10^-6Pa
	*大压缩比			N2 : >1×10⁹, He : 4×10⁷, H2 : 4×10⁵		N2 : >1×10⁹, He : 7×10^6, H2 : 1×10⁵
	大吸气口压力 4, 5, 6		N₂	0.43Pa	1.1Pa	0.06Pa	0.7Pa
	大排气口压力 4, 5, 7		N₂	300Pa	900Pa	100Pa	1000Pa
	连续运转大流量 8	无排放气体	N₂	15sccm *9	40sccm *9	10sccm *10	100sccm *10
		无排放气体	Ar	-	10sccm *9	-	30sccm *10
		有排放气体		-	15sccm *9	-	40sccm *10
	推荐辅助泵 (10SCCM吸引时 ) *11			>60L/min		>120L/min
	质量			VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg		6.0kg / 9.0kg	6.3kg / 9.3kg
	回转数			87000rpm		60000rpm
	启动时间（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下时）			1.7 min		3.5 min
	表面处理 *12			无
	安装方向			全方位安装可能
	噪音 *13			<48dB(A)		<50dB(A)
控制器	输入电源			DC24V ±5%, 120W		DC24V ±5%, 180W
	触点输入输出			REMOTE(D-sub 15针公头)数字输入/输出4点，模拟输出1点
	串行通信			RS-485(D-sub 15针公头,与REMOTE共用)
	LED显示			POWER,NORMAL,ALARM
	开关			START/STOP,RESET
	回转数可变机能			在泵规定回转数25%～100%间、可以变更运转回转数。（设定为0.1%单位）
	异常检测			报警，检测警告内容
	保护动作			报警，显示警告内容
标准附属品				使用说明书（CD-R）、防护网（**VG、ICF。ISO法兰的已组入垫片）、垫片（吸气口用）、防尘帽（吸气口、排气口、连接器用）各1个
合格标准				CE, TUVus

*1	订购时请选择吸气口法兰。
*2	使用2段式辅助泵时
*3	**于使用ICF法兰强制空冷时才能烘烤。
*4	周围温度为25°C时的值。允许值随周围温度变化而变化。
*5	不能同时满足大吸气口压力和大排气口压力。
*6	为可连续排气的*大吸气口压力。
*7	来自进气口的排气流量为0sccm时的可连续运行的排气口的*大压力。
*8	周围温度为5～25°C时的值。排放气体请使用N2以25sccm进行。
*9	以60L/min使用辅助泵时的值。
*10	以120L/min使用辅助泵时的值。
*11	气体量较大时，在选择辅助泵时请保证排气口的压力要在*大排气口压力以下。
*12	请勿流入反应性气体、腐蚀性气体、含Ga气体。其他相关问题请联系我们。
*13	ISO法兰型。依据本公司的测量方法。

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产品名称：进口ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵UTM70B

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