企业信息
第1年
- 入驻时间: 2024-08-01
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产品详情
简单介绍:
进口ULVAC爱发科DC-20-DH大容量直流电源
进口ULVAC爱发科DC-20-DH大容量直流电源
详情介绍:
进口ULVAC爱发科DC-20-DH大容量直流电源
进口ULVAC爱发科DC-20-DH大容量直流电源
1.高性能RAMP
高速ARC处理
4. 优越的性能 ARC处理
进口ULVAC爱发科DC-20-DH大容量直流电源
大容量DC电源
DC-10-D
爱发科
DC-10-D和DC-20-D是用于闪射的直流电源,输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成,是一种非常可靠的电源,*适合于负载负载,反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。
特点
- 丰富的健康选项
- 专注且节省空间的设计
- 800V和1000V的电压输出范围
- 适应于的输出控制
- 强制空气冷却系统,冷却水
- 配备的ARC功能和高速ARC支架出色
- *多可12台设备并联运行(240kW)
- 符合RoHS、CE、SEMI-F47标准
目的
- FPD溅射设备
- 半导体射電设备
- 电子元件溅射设备
- 工业喷射设备
规格
模型 | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
输入 | 输入电压 | 交流208V | |||
变异范围 | 交流187V~229V | ||||
相数/ 频率 |
三相50/60Hz | ||||
输入连接 | 连接器 | ||||
输入容量 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | |||
输出 | 额定功率 | 10千瓦 | 20千瓦 | ||
额定电流 | 25A | 18A | 50A | 40A | |
额定电压 | 800伏 | 1000伏 | 800伏 | 1000伏 | |
电弧控制 | 如果检测到ARC,逆变器将停止,LARC将负载侧分离 | ||||
输出连接 | 连接器 | ||||
控制 | 输出控制系统 |
恒功率控制/恒电流控制/恒电压控制 (V控制) |
|||
控制精度*1 |
额定功率的 1 至 10% :设定值的 ±5% 或更小 额定功率的 10 至 100% :额定输出的 ±0.5% 或更小或设定值的 ±1% 中的较大者 |
||||
保证控制范围*2 | 恒功率控制:额定功率值的10~100%(可选:1-100%) | ||||
并联运行*3 | *多 12 个单位 | ||||
控制方式 系统 | 本地控制/用户控制/串行通信控制 (RS232C 或 RS485)/EtherCAT *4 | ||||
科林 | 空气冷却 | ||||
方面 | 483毫米(宽)×630毫米(深)×133毫米(高) | ||||
大量的 | 29公斤 | 36公斤 | |||
标准 | RoHS、CE、SEMI F47 |
工作温度5-40°C
使用环境:室内在疆域1000米以下,阳光无直射和灭火气体。
*1:选项:保证额定值1-10%范围内的精度。
*2:有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3:800V规格和1000V规格无法组合。
*4:EtherCAT任选。
使用环境:室内在疆域1000米以下,阳光无直射和灭火气体。
*1:选项:保证额定值1-10%范围内的精度。
*2:有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3:800V规格和1000V规格无法组合。
*4:EtherCAT任选。
可选功能
销售四个升级包,以满足客户的需求。凭借其他品牌DC电源所不具备的独特且高性能的功能,能够解决客户前置提高待解决的工艺问题,薄膜性能。
1.高性能RAMP
通过控制回流前的输出(短暂操作),可以在回流开始时的输出跳变,在回流后立即获得稳定状态的功能。
昏暗电源中的RAMP功能通常用于导出后的输出控制。而我们通过导出后进行输出控制。导出后进行输出控制,可能无法立即获得稳定的导出状态。这个新功能导出前的输出控制(暂停操作),可以在轨迹曲线开始时瞬间增加功率,从而达到稳定轨迹。
高速ARC处理
新的ARC控制功能,可实现****的5μ秒ARC切断时间。
直流电源在瞬间感应到异常放电时会切断输出,但如果该切断时间太长,则可能无法恢复放电。升级本包的功能*多可地整个切断时间,从而维持放电,实现稳定。另外,短的切断时间也可以每周形成膜材料清洗的预溅射时间。
4. 优越的性能 ARC处理
直流电源自行判断异常放电水平并决定切断的时间,能够执行*佳的保护功能。
一般的黑暗电源只能进行1种模式的切断设定。但是,其切断往往不适合当时的情况,之后的膜工艺效率也随之降低,有时会再次发生异常放电而切断。这个新功能通过DC电源自身判断异常放电水平并决定切断的时间,可以降低异常放电的概率,实现成膜工艺的效率化。这些功能升级包可以单独或多个同时添加到DC电源中。