企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
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产品详情
简单介绍：
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
详情介绍：
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
新品ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机RFS-1330N
RF电源 / 匹配切换机
RFS-N 系列
RFS-1305N
爱发科
RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。
装载高效率RF放大器实现了小型·轻量化。
另外，RF电源内置自动匹配控制器功能，仅从主机单元就可以对RF电源进行电力控制及匹配系统控制。
特点
-
高效率
配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。 -
快速自动匹配
快速算法实现快速自动匹配。 -
RF电源内置自动匹配功能
只有主机才能进行匹配系统控制。
可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器 -
灵活的控制
外部模拟控制，可实现串联通信控制。 -
可靠性高
对作为设备制造商所积累的设计经验。
用途
- 溅射设备
- CVD设备
- 等离子蚀刻设备
- RF离子源
- 中和剂
规格
[发电机]
| 模型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 输入规范 | 输入额定电压 | AC200至220V | |||
| 输入电压波动范围 | 交流180～242V | ||||
| 相位、频率 | 单相50/60Hz | 三相 50/60Hz | |||
| 输入连接器 |
卡口网锁圆形连接器 DCA3102E16-10P-D |
卡口式网锁圆形连接器 DCA3102E22-22P-D |
|||
| 输入容量 | 1.2kVA以下 | 1.8kVA以下 | 5kVA以下 | 8kVA以下 | |
| 输入电流 | 10A 以下 | 25A 或更低 | 30A 以下 | ||
| 漏电流 | 5mA以下 | ||||
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56兆赫 | |||
| 额定行波功率 | 500W（50Ω负载） | 1000W（50Ω负载） | 3000W（50Ω负载） | 5000W（50Ω负载） | |
| *大反射波功率 | 100 瓦 | 500 瓦 | |||
| 输出阻抗 | 50Ω | ||||
| 谐波失真率 | -35dB 或更低（额定输出，连续模式） | ||||
| 输出连接器 | N 型 | HN型 | 7/16 起 | ||
| 续 | 控制方法 | 功率控制模式 | |||
| 控制精度 | 额定输出±2％以内（额定功率10～100％） | ||||
| 冷却方式 | 空气冷却 | 水冷 | |||
| 无需冷却水 | 流量4L/min | 流量6L/min | |||
| 控制保证范围 | 额定功率10～100％ | ||||
| 尺寸（宽 x 深 x 高） |
240mm x 495mm x 150mm （除突出部分） |
480mm × 500mm × 150mm （除突出部分） |
|||
| 重量 | 11公斤 | 23公斤 | |||
[配套盒子]
| 模型 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N | |
| 射频输入 | 输入频率 | 13.56兆赫 | |||
| 额定功率 | 30～500瓦 | 30～1000瓦 | 30～3000瓦 | 50～5000瓦 | |
| 输入连接器 | N 型 | HN型 | DIN 7/16 型 | ||
| 射频输出 | 允许输出电压 | 2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | 5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | 10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 | |
| 允许输出电流 | 30A 以下 | 80A以下 | 120A 或更低 | ||
| 负载阻抗 |
实部： 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω （**调节电压、电流的范围） |
||||
| 剩余反射波功率 | 大输入行波功率0.3％以下或10W以下 | 大输入行波功率0.3％以下或30W以下 | 大输入行波功率0.3％以下或50W以下 | ||
| 冷却系统 | 空气冷却 | 风冷+水冷（流量2L/min） | |||
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 375mm x 250mm x 120mm（除突出部分） |
375mm x 250mm x 170mm （除突出部分） |
450mm x 500mm x 248mm （除突出部分） |
||
| 重量 | 约8公斤 | 约10公斤 | 约21公斤 | ||
* 操作环境温度 10 至 40℃ (无凝结)
* 操作环境 无阳光直射、高温、灰尘、避免震动、不含腐蚀性气体