企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
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产品详情
简单介绍：
全新Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵TG420ML
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详情介绍：
全新Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵TG420ML
全新Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵TG420ML
超低振动涡轮分子泵TG-ML系列特点
半导体制造正朝着进一步小型化和更高集成度的方向发展。同时，也要求分析、测量和检验过程具有更高的精度和更高的性能。即使控制技术进步，如果为了进行微观区域的微细加工、测量和分析而使设备产生振动，那也是没有意义的。因此，对真空泵的减振提出了强烈的要求。
- 成功将泵体振动值抑制到1nm以下！ *基于我们的测量方法
- 通过安装专用减振阻尼器，振动值进一步降低一个数量级！
目的
- EUV曝光设备等下一代半导体制造设备
- 高精度、高性能电子显微镜、分析设备、测量设备等
- 规格
- 外形尺寸
- 性能曲线
- 控制器