企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
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-
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产品详情
简单介绍：
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
详情介绍：
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
皮拉尼真空计
传感器类型
SP1
SP1
爱发科
传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。
特点
-
传感器规格：如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化 - 确定子更换眼睛
- 灯丝采用耐腐蚀材料铂
- 其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
- 可以输出2个设定点
- SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
- 电源电压：24 VDC输入
目的
- 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
- 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
- 用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
规格
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
|
准确性 |
±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作温度范围 | 10～40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（*大10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0至5VDC（*大10V） |
| 控制输出信号 | 开路集电极输出，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 显示屏 | 电源、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V, 90mA（*大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括传感器头） |
|
标准配件 |
输入/输出连接器 1个 |
| 快速手册 1本 |
IO和模拟GND与电源GND不隔离。